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Reflectrometrie X-UV

par ip2ct - publié le

• Spectro-goniomètre fonctionnant avec un tube RX à anode interchangeable
• Domaine spectrale des rayons X mous : 150 – 2000 eV
• Réflectométrie X de matériaux multicouches nanométriques, de préférence périodiques, pour déterminer l’épaisseur, la rugosité et la densité des différentes couches
• Possibilité de faire de la spectroscopie d’émission X pour déterminer les éléments majeurs et mineurs d’un échantillon solide à partir des émissions caractéristiques
• à haute résolution spectrale en utilisant le goniomètre comme un spectromètre plan.
• à faible résolution spectrale en utilisant un silicon drift detector. MONOX, permet de faire des mesures de réflectivité dans le domaine des rayons X mous (180 eV à 1800 eV ; 7 nm à 0,7 nm) d’échantillons multicouches. Le rayonnement incident peut être polychromatique (haut flux) ou monochromatique (bas flux).